由于某種原因引起電動機超負荷運轉，甚至轉不動，通常習慣上把這種現象就叫“卡死”真空泵發生卡死的原因是：彈簧損壞，使旋片受力不勻；裝配不當，使某局部受力；由于進氣口的濾網丟失或損壞，使外部臟物，金屬屑、玻璃屑等落入泵腔內。此外，泵轉子、旋片端面與端蓋間的間隙過小，摩擦發熱使旋片伸長或過熱過緊的摩擦加之旋片硬度過大，與毛刺互相碾括，使端面產生深劃痕，后燒結卡死。當軸和軸套配合過緊時，再加滑潤油路不通暢，也會因互相粘碾卡死泵長時間不用，泵腔內生銹；泵在濕度較大的環境下運轉或抽除潮濕氣體，使泵油變成乳濁液或泵油結垢甚至結殼泵油粘度過大(冬天)；轉子在啟動瞬間被打裂；有些泵的高、低真空室氣道上有半圓槽，其上壓的橡皮板被壓得太緊，堵死了中間氣道通路等等，均易使泵卡死。這種毛病常常是很危險的，因在卡死瞬間，由于轉子使電動機超負荷或轉不動，易使電機燒毀。即使不燒電機，如不及早停車修理，則會輾壞泵腔，打壞旋片，扭壞轉子，燒壞端面等，其后果總是很不好的。
真空泵油在運轉時，通過真空泵油管把油箱里面的真空泵油帶到泵體，在泵體里面運轉后再通過回油管回流到油箱里面，因為真空泵運轉時溫度會達到70-105度，部分真空泵油會變成油氣，隨著尾氣排到排氣口，通過沒有失效的油霧分離器（排氣過濾器）過來下來，又回流到真空泵油箱里。
真空泵廠家的真空泵維修解決方法如下：
1、提供電機正確的電壓。
2、將電機啟動器過載保護的設定數據與電機銘牌的數據相對照，必要時，請校正。如果環境溫度較高：可將設定值根據正常電機電流提高5%。
3、檢查保險絲。
4、修理或更換電機（要專業的技術人員操作）。
5、確認電機已斷電，斷開風扇罩。用手盤動電機和真空泵。如果手盤不動，將電機從泵上拆下，分別檢查真空泵和電機，如果真空泵卡死，請維修泵（要專業的技術人員維修檢驗）。