需定期沖洗泵體，泵體排水閘閥，除了用于正常排出泵內積水外，還可在運行過程中利用泵體運轉的水壓定期沖洗泵內污垢和水渣，一方面可以防止污垢積存，另一方而還可以防止水渣轉化為水垢。
真空泵的結垢問題有其較為復雜的生成機理，正確分析水質指標和運行參數是找出正確防范措施的關鍵。除了水溫控制和定期沖洗泵體外，水處理是防止泵體結垢的重要環節。
防止真空泵結垢的方法，循環水的水質和運行溫度超過一定指標是造成真空泵結垢的主要原因。水質指標中，尤以水的硬度影響大。為此，必須盡可能降低水的硬度，控制循環水的工作溫度，才能解決真空泵結垢的問題。循環冷卻水的硬度，循環水在真空泵中的運行過程，與低壓熱水鍋爐中鍋水運行過程極其相似。因此，按照熱水鍋爐水質標準來管理真空泵水質，既可防止真空泵結垢又可防止真空泵腐蝕。真空泵循環水系統大都是敞開式循環系統，回水率比較高。在因資金等原因不采用離子交換設備進行水處理的情況下，一般利用一個軟化水池加一個高位水池對真空泵進行供水。
真空泵廠家維修人員在工程機械的維修過程中，要在理解真空設備結構和原理的基礎上，對故障原因進行分析，不能盲目得對故障原因下結論，造成新的問題的出現。通過故障分析，不僅可以判斷故障的性質和原因，更重要的是可以通過理清故障，提出有效的改進措施。當發現真空不足時，不查故障原因，盲目調高系統的工作壓力，致使損壞油封、管路、液壓元件等。這些不正規的維修方法在應急的情況下是可以的，但不可長期使用，必須從根本上查出故障原因，采取正規的維修方法排除故障。因此，在故障分析時，從故障現象入手，結合機械設備的工作原理和結構，通過檢測設備或者用傳統的故障判斷方法，來確定故障發生的原因和部位，切忌“不問青紅皂白，盲目大拆大卸”。分析出故障以后，就需要我們維修人員采取正確有效的方法對設備進行維修。
真空泵維修過程中，零部件的精度及其質量對泵浦維修后的性能尤為重要，對此維修人員一定要對機械結構及其原理不是了解，同時注意其零件之間的精度及配合公差，因為不同的質量的配件及其型號規格精度都對泵浦組裝后的性能產生重大的影響。
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